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无氧烘箱|12寸晶圆烘箱|MES无氧箱

产品名称:无氧烘箱|12寸晶圆烘箱|MES无氧箱

产品型号:QMO-500

产品分类:无氧化手机版

备注说明:

产品描述:

无氧烘箱 12寸晶圆烘箱 MES无氧箱

一.概述:

无氧化烘箱,在工作时,工作室内充满了惰性气体CO2,N2,防止材料在烘烤时被氧化。无氧化烘箱在工业中的用途:IC包装,LCD,晶体管,传感器,二极管,石英晶体振荡器,混合集成电路板……

二.产品技术参数

1.名称及型号:无氧烘箱/烤箱/烘烤箱QMO-500

2、主要技术指标:

2.1含氧量:< 20ppm,50ppm,100ppm,含氧量:<=5000ppm;

2.2温度范围: RT(室温)+60~ +250℃;

2.3温度均匀度:±1.5%;

2.4温度波动度:±0.5℃(空载)

2.5温控精度:±0.1℃;

2.6烘箱搁板为活动形式。

2.7工作尺寸:W800×H800×D800

2.8电源:380V 3φ 50HZ 8Kw

3、箱体结构:

3.1烘箱由箱体部分、电器控制柜部分、电加热及风道系统部分组装而成,结构合理,外观美观大方;

3.2全周氩焊,耐高温硅胶迫紧,SUS304#不锈钢电热产生器,防机台本身产生微尘;

3.3箱体材料:外箱采用SS41#中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆,可防止微尘;

3.4内胆材料:采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产生PARTICLE;

3.5中桶材料:采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污及氩焊密封加工(防污染)。

3.6保温材料:硅酸铝棉;

3.7夹层降温:水冷降温.(从250度降到60度预计50分钟内)

4、可靠的测控系统

4.1温控装置:智能控制系统,日本优易控

10〃TFT真彩触摸薄屏

程式编辑:可预编120个程式,每个程式可编99段,共1200段

历史数据查询(数据可以通过USB接口导出)

温度、含氧量曲线可同时显示

4.2温控输出:SSR输出,欧姆龙继电器,固态继电器

4.3含氧量分析仪:配国产含氧量分析仪(上海英盛ZO-802)。         

4.4氮气系统:N2流量计控制进气量;入气口:10mm;排气口:φ100,位于箱体顶部,排气可设定时间段。

5、完善的安全保护措施:漏电断路器//超温保护//欠相保护//马达过载电流保护//机台异常蜂鸣器警示

产品参考图:

上一个:厌氧烘箱
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